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等離子清洗機(jī)操作介紹

更新時間:2023-05-25點(diǎn)擊次數(shù):2265

1.jpg

 

真空度顯示:顯示腔體內(nèi)部的真空度數(shù)值

 

運(yùn)行程序段:分為3個步驟,綠色表示運(yùn)行狀態(tài)

①真空泵啟動②射頻電源打開③放氣

 

進(jìn)氣流量顯示:通過調(diào)節(jié)AB流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)氣體進(jìn)入腔體的大小,在兩個圖標(biāo)顯示,上部顯示為A流量,下部顯示為B流量

 

時間:顯示設(shè)備清洗時間

 

功率:顯示當(dāng)前設(shè)備清洗是清洗功率

 

設(shè)備溫度:顯示當(dāng)前射頻電源設(shè)備溫度

 

放氣狀態(tài):顯示當(dāng)前放氣閥開啟或關(guān)閉狀態(tài)

 

清洗時間:點(diǎn)擊可設(shè)置設(shè)備運(yùn)行清洗時間

 

清洗功率:點(diǎn)擊可設(shè)置設(shè)備運(yùn)行清洗功率

 

開始運(yùn)行:點(diǎn)擊可切換設(shè)備開始運(yùn)行或者停止運(yùn)行

 

參數(shù)設(shè)置:非專業(yè)人士請勿調(diào)節(jié),如有需要請聯(lián)系廠家人員

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射頻電源開關(guān):按下產(chǎn)品前面板左邊的電源按鈕  此時產(chǎn)品通電啟動 液晶顯示屏點(diǎn)亮, 顯示啟動界面 2 秒,然后進(jìn)入相應(yīng)工作狀態(tài)顯示界面。在按一下則關(guān)閉射頻電源。

 

功率調(diào)節(jié)旋鈕射頻功率調(diào)節(jié),旋轉(zhuǎn)設(shè)旋鈕時針 旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)。

射頻出的開啟和關(guān)閉面板上的射頻輸出 開藍(lán)色按鈕 打開射頻出,同時定時器開始倒計時; 按下射頻輸出 關(guān)紅色按鈕】 關(guān)閉射頻輸出。

 

 

3.jpg

 

調(diào)節(jié)功率設(shè)旋鈕:顯示內(nèi)Wf"的數(shù)值會發(fā)相應(yīng)的變,此 時的數(shù)值為設(shè)定值當(dāng)按下射頻輸出 開藍(lán)色按鈕射頻,RF OFF"將變成Wr",Wf 前的數(shù)也會0 ,當(dāng)然 Wr 數(shù)值據(jù)負(fù)發(fā)生相應(yīng)的,的后端負(fù)50 歐時Wr 的數(shù)值將0,輸出反射功則,Wr 數(shù)值將根據(jù)負(fù)應(yīng)的反值。

 

手動匹配器通過調(diào)節(jié)MATCH區(qū)TUNELOAD實(shí)現(xiàn)匹配器的手 動匹減低0W。

4.jpg

 

MATCH             指示                      】指

 調(diào)節(jié)TUNELOAD旋鈕 調(diào)節(jié)TUNEWf 數(shù),明調(diào)節(jié),反的方調(diào)節(jié);Wf 數(shù)值到達(dá)設(shè)置最大,調(diào)個旋,實(shí)現(xiàn) Wr 數(shù)低; b調(diào)節(jié)【LOAD鈕的理。(通過兩個旋鈕調(diào)節(jié)觀察Wf值根據(jù)旋鈕調(diào)節(jié)變大  Wr值根據(jù)旋鈕調(diào)節(jié)變小)

 

 

 

 

2、軟件語言選擇

按下MENU】鍵進(jìn)前面的【UPDOWN】鍵

選中1 項(xiàng)Lang./"MENU鍵確認(rèn),進(jìn)English"

5.jpg



"MENU】鍵認(rèn)應(yīng)語言

 

 


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